Специалисты новосибирского Института физики полупроводников СО РАН создали стандарт измерения высоты поверхности, который может применяться для настройки и калибровки высокоточной аппаратуры, в том числе применяемой в сфере нанотехнологий, сообщил старший научный сотрудник института Сергей Косолобов.
«Для области нанотехнологий существование стандартов калибровки приборов, которые измеряют высоту или профиль поверхности, это очень важная задача. Их на данный момент в мире нет, таких стандартов. 90-100 нанометров есть, а все, что меньше, — нету. Мы создали такой эталонный объект, его сейчас регистрируют в государственном реестре средств измерений», — сказал Косолобов.
Он пояснил, что первоначально ученые занимались созданием идеально гладкой поверхности и учились контролировать перестройку атомов при внесении изменений в структуру какой-либо поверхности, например, образца кремния. Физикам удалось получить поверхности, которые не содержат на себе слоев атомов — «атомных ступеней».
«Зачем это нужно? Когда нам приносят биологи какой-то объект и говорят: «Мы хотим знать его форму», — мы должны положить его на какую-то подложку. Но если подложка сама имеет какую-то форму, мы будем мерить совокупность двух форм, и реальную трудно вычленить», — пояснил Косолобов.
Впоследствии, рассказал он, физики начали располагать на заданных местах поверхности от одной до нескольких сотен «атомных ступеней», что и привело к созданию нового стандарта измерений высоты. Этот стандарт уже используется производителями атомно-силовых и интерференционных микроскопов.
